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中國(guó)真空獲得設(shè)備的質(zhì)量有待提高競(jìng)爭(zhēng)激烈
如改變閥片結(jié)構(gòu)和材料以減小排氣噪聲；采用三缸式滑閥泵，使滑閥泵運(yùn)行平穩(wěn)等。我國(guó)出產(chǎn)真空獲得設(shè)備從20世紀(jì)30年代開(kāi)始起步，目前年產(chǎn)量已達(dá)12萬(wàn)臺(tái)左右，電爐產(chǎn)品品種和質(zhì)量基本能夠知足海內(nèi)市場(chǎng)需求，鄭州科晶電爐采取了改進(jìn)閥片材料、嚴(yán)格控制油量、選擇低噪聲電機(jī)等手段，使噪聲降低。
真空泵的機(jī)能質(zhì)量不僅僅取決于出產(chǎn)廠制造本身，大量的配套產(chǎn)品對(duì)真空泵的質(zhì)量起到了至關(guān)重要的作用，如軸承、齒輪、動(dòng)密封、靜密封、電機(jī)、真空泵油等等，因此真空泵制造廠選用優(yōu)質(zhì)的配套產(chǎn)品對(duì)進(jìn)步產(chǎn)品質(zhì)量是十分有效的。
泵的噪聲不符合尺度要求，一些減少泵振動(dòng)和噪聲的新技術(shù)，新結(jié)構(gòu)滑閥泵在海內(nèi)不斷有人研制。一些企業(yè)因?yàn)槿鄙俪闅庑手笜?biāo)的檢測(cè)前提，產(chǎn)品出廠沒(méi)有經(jīng)由檢測(cè)監(jiān)控把關(guān)，使該項(xiàng)指標(biāo)長(zhǎng)期得不到改善和解決。
我國(guó)旋片泵出產(chǎn)設(shè)計(jì)水平、加工制造以及機(jī)能都已趨向成熟。中國(guó)入世后面對(duì)激烈的國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)，海內(nèi)真空獲得設(shè)備在質(zhì)量水平上與發(fā)達(dá)國(guó)家的差距亟待我們冷靜思索，研究對(duì)策。按尺度劃定，當(dāng)旋片泵在進(jìn)口壓力為2Pa時(shí)，表征泵抽氣能力的指標(biāo)——抽氣效率應(yīng)達(dá)到45％以上。
海內(nèi)真空獲得設(shè)備在質(zhì)量目前國(guó)內(nèi)產(chǎn)的油擴(kuò)散泵存在的主要題目是返油嚴(yán)峻，使油擴(kuò)散泵的使用前提受到限制,共性的質(zhì)量題目還有產(chǎn)品的耐久性和可靠性較差。旋片泵的噪聲主要來(lái)源于三方面：泵油對(duì)閥片的沖擊產(chǎn)生的噪聲；管式電爐配用電機(jī)產(chǎn)生的噪聲；振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)件產(chǎn)生的噪聲。箱式電爐目前旋片泵中皮帶泵約有80％的產(chǎn)品，直聯(lián)泵約有50％的產(chǎn)品，質(zhì)量能夠達(dá)到行業(yè)尺度要求，但仍存在以下題目：
2Pa時(shí)的抽速過(guò)低，抽氣效率達(dá)不到尺度要求。存在的題目是軸封漏油嚴(yán)峻；振動(dòng)、噪聲大，有的產(chǎn)品動(dòng)平衡不好，也有的齒輪、軸承精度不夠；一些產(chǎn)品的零流量壓縮比以及最大答應(yīng)奪差達(dá)不到尺度要求；有的企業(yè)出產(chǎn)工藝裝備落后，不能保證零部件的加工精度和裝配精度。近幾年海內(nèi)主要出產(chǎn)廠對(duì)旋片泵的噴油、漏油題目下了很大的力氣加以解決，成效明顯，但是仍有約20％的旋片泵噴油、漏油。如H－150滑閥泵，海內(nèi)產(chǎn)品大多數(shù)要用地腳螺栓，否則因?yàn)檎駝?dòng)，泵爬行嚴(yán)峻。
滑閥泵的噪聲形成機(jī)理比較復(fù)雜，普遍以為是多方共同作用的結(jié)果。
噴油和漏油題目。但目前旋片泵分歧格產(chǎn)品中，仍有20％的產(chǎn)品噪聲分歧格。該泵的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)樸、無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件、壽命長(zhǎng)、不易損壞、在高真空范圍內(nèi)抽速大。
目前國(guó)產(chǎn)羅茨泵產(chǎn)品質(zhì)量相差比較懸殊，老的出產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品機(jī)能指標(biāo)一般能夠達(dá)到或超過(guò)尺度要求。一方面是因?yàn)槟承┊a(chǎn)品的進(jìn)口直徑?jīng)]有執(zhí)行尺度，造成通導(dǎo)不足；一方面是因?yàn)榱悴考庸ず脱b配題目，引起泵的返流、泄漏及管阻加大。
羅茨泵 該泵極限壓力可達(dá)到5×10-2Pa，其特點(diǎn)為抽速大、抽氣時(shí)間短、無(wú)污染。多數(shù)滑閥泵啟動(dòng)時(shí)噴油嚴(yán)峻，運(yùn)轉(zhuǎn)后漏油。因?yàn)槌霎a(chǎn)加工裝備落后，使出產(chǎn)效率低，零部件的互換性差，影響了產(chǎn)品的不亂性和可靠性。
我國(guó)滑閥泵質(zhì)量經(jīng)由多年的市場(chǎng)磨練，主要技術(shù)機(jī)能如極限壓力、抽速、抽氣效率等指標(biāo)已經(jīng)得到大大改善，特別是近幾年，為解決滑閥泵的噪聲、振動(dòng)等題目，出產(chǎn)企業(yè)與大專院校聯(lián)合，從理論到加工工藝都進(jìn)行了卓有成效的探索和努力。盡管如斯，國(guó)產(chǎn)滑閥泵與國(guó)外產(chǎn)品比擬仍舊存在著以下較大差距：一是噪聲、振動(dòng)大。
國(guó)產(chǎn)羅茨泵仍有30％左右的產(chǎn)品分歧格，假如與國(guó)際提高前輩水平比擬，綜合機(jī)能差距更大。而真空獲得設(shè)備中最大面廣的是旋片泵、滑閥泵、羅茨泵和油擴(kuò)散泵。三是停泵返油嚴(yán)峻，造成啟動(dòng)難題，使電機(jī)過(guò)載。
滑閥泵 該泵加上一些附屬裝置后具有抽出水蒸氣和侵蝕性氣體的能力，其工作壓力范圍寬，經(jīng)久耐用，故障率低。近幾年該泵在我國(guó)發(fā)展較快，年產(chǎn)量約為3000臺(tái)。二是噴油、漏油。還有的產(chǎn)品極限壓力指標(biāo)和臨界前級(jí)壓力達(dá)不到尺度要求，使泵的整體機(jī)能降低。如排氣噪聲、機(jī)構(gòu)振動(dòng)和激勵(lì)噪聲、電機(jī)與軸承噪聲以及泵油的沖擊噪聲等多種噪聲疊加的結(jié)果。
我國(guó)在滑閥泵的外觀質(zhì)量上也進(jìn)行了不少探索，產(chǎn)品的外觀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)更加美觀，泵體的鑄件質(zhì)量進(jìn)步，泵體表面不需打膩?zhàn)樱瑖娖岷罂山M裝，外觀向儀器儀表化發(fā)展。此外，漏水、產(chǎn)品標(biāo)牌與實(shí)際情況不符、螺釘松動(dòng)、電機(jī)皮帶過(guò)緊或過(guò)松、旋片泵和滑閥泵的氣鎮(zhèn)裝置效果不顯著或失效等題目也比較普遍。我國(guó)產(chǎn)品與國(guó)外提高前輩國(guó)家的產(chǎn)品比擬噪聲普遍高出5分貝以上。
真空獲得設(shè)備按品種可分為15大類，按抽氣能力可分為高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。四是不亂性、可靠性差。我國(guó)油擴(kuò)散泵的年產(chǎn)量約2500臺(tái)。
油擴(kuò)散泵 該泵是目前海內(nèi)在高真空范圍內(nèi)應(yīng)用最普遍的泵，而目前我國(guó)旋片泵的分歧格產(chǎn)品中，80％的產(chǎn)品該項(xiàng)指標(biāo)較低。一種新型產(chǎn)品HGL－150滑閥泵通過(guò)鑒定，該產(chǎn)品三個(gè)重要部位采用新型結(jié)構(gòu)，產(chǎn)品不但極限壓力低，而且噪聲比尺度降低6分貝，且運(yùn)行平穩(wěn)，無(wú)需地腳螺栓。
旋片泵 該泵是所有真空獲得設(shè)備中產(chǎn)量最大、應(yīng)用最普遍的真空泵，全國(guó)年產(chǎn)量約10萬(wàn)臺(tái)。目前，99％以上的國(guó)產(chǎn)泵不進(jìn)行可靠性試驗(yàn)，出產(chǎn)企業(yè)對(duì)其產(chǎn)品的可靠性指標(biāo)根本不了解。這些題目造成國(guó)產(chǎn)羅茨泵運(yùn)行不可靠，故障率高，有的泵運(yùn)轉(zhuǎn)幾個(gè)月就要維修，而德國(guó)L-H公司羅茨泵運(yùn)行數(shù)年可以不維修?，F(xiàn)全國(guó)年產(chǎn)量約為3000臺(tái)。
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