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垂直梯度定向凝固多晶硅鑄錠爐熔化-硅液溢流保護結(jié)構(gòu)
新聞分類: 技術(shù)資訊 瀏覽:2537 日期:2012/01/06
垂直梯度定向凝固多晶硅鑄錠爐熔化一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護結(jié)構(gòu)，屬多晶硅晶體定向生長爐的制造技術(shù)領(lǐng)域，其主要由爐體內(nèi)壁，爐體外壁，焊接于爐體內(nèi)壁。
（1）底部中心位置的凸臺 （2）置于爐體內(nèi)壁 （3）爐體外壁 （4）夾層中的高壓冷卻循環(huán)水 （5）焊接于凸臺 （6）兩側(cè)的爐體內(nèi)壁。 設(shè)計合理，結(jié)構(gòu)簡單，通過對管式爐體凸臺處結(jié)構(gòu)部分進行合理改進，在凸臺外圍增加一個隔圈使得焊縫薄弱區(qū)與高壓冷卻循環(huán)水隔離開來，能有效防范硅液溢流造成嚴(yán)重安全事故。 多晶硅鑄錠爐是光伏硅錠及硅片設(shè)施的關(guān)鍵設(shè)備。 多晶硅塊融化后的爐長垂直梯度定向凝固的多結(jié)晶硅錠。該過程包括加熱，箱式爐熔化，成長，退火和冷卻階段。該箱式電爐具有綜合水冷卻，氬氣流量，真空泵，電源，溫度監(jiān)測和全自動化過程控制系統(tǒng)。 |
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