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垂直梯度定的向凝固多晶硅鑄錠電爐熔化
新聞分類:  技術(shù)資訊    瀏覽:2176    日期:2012/08/31    

       一種多晶硅鑄錠爐硅液溢流保護結(jié)構(gòu),箱式爐屬多晶硅晶體定向生長爐的制造技術(shù)領(lǐng)域,主要由爐體內(nèi)壁,爐體外壁,焊接于爐體內(nèi)壁。

(1)底部中心位置的凸臺
(2)置于爐體內(nèi)壁
(3)爐體外壁
(4)夾層中的高壓冷卻循環(huán)水
(5)焊接于凸臺
(6)兩側(cè)的爐體內(nèi)壁。

    多晶硅鑄錠爐是光伏硅錠及硅片設(shè)施的關(guān)鍵設(shè)備。多晶硅塊融化后的管式爐長垂直梯度定向凝固的多結(jié)晶硅錠。

    設(shè)計合理,結(jié)構(gòu)簡單,通過對爐體凸臺處結(jié)構(gòu)部分進行合理改進,在凸臺外圍增加一個隔圈使得焊縫薄弱區(qū)與高壓冷卻循環(huán)水隔離開來,垂直梯度定向凝固多晶硅鑄錠爐熔化能有效防范硅液溢流造成嚴(yán)重安全事故。

    過程包括加熱,熔化,成長,退火和冷卻階段。該電爐具有綜合水冷卻,氬氣流量,真空泵,電源,溫度監(jiān)測和全自動化過程控制系統(tǒng)。
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