溫區(qū): 單溫區(qū)電爐 雙溫區(qū)電爐 三溫區(qū)電爐
溫度: 室溫-1100℃
4路質(zhì)子混氣PECVD系統(tǒng)-GSL-1200X開(kāi)啟式管式爐為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）， 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
技術(shù)參數(shù)如下：
實(shí)驗(yàn)機(jī)理
輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3
電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍
產(chǎn)品特點(diǎn)
雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。這類(lèi)具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
鄭州科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格非常合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。
開(kāi)啟式管式爐
工作溫度：1200℃
可選爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80
溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度：150mm
功率：AC 220V 4KW
等離子射頻電源
輸出功率：50-500W最大可調(diào)±1%
RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%
噪聲：≤55DB
冷卻：風(fēng)冷
輸入功率：1KW AC 220V
真空泵和閥門(mén)
采用KF25系列波紋管和精密針閥連接
真空度可達(dá)10-3torr
數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5至 1125Torr.不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
質(zhì)量流量計(jì)
內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入
進(jìn)氣口：采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
外形尺寸
爐體：550*380*520mm
供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm
凈重：120KG
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件
質(zhì)量認(rèn)證：
